°æ»óºÏµµ¿Í ¿µÁֽô 17ÀÏ ±è°ü¿ë °æ»óºÏµµÁö»ç, Àå¿íÇö ¿µÁÖ½ÃÀå, ÀÓ¹Î±Ô SK¸ÓƼ¸®¾óÁî(ÁÖ) ´ëÇ¥ÀÌ»ç µîÀÌ Âü¼®ÇÑ °¡¿îµ¥, SK¸ÓƼ¸®¾óÁî(ÁÖ)¿Í ÅõÀÚ±Ý¾× 1,508¾ï¿ø ½Å±ÔÀÏÀÚ¸® âÃâ 105¸íÀ» ³»¿ëÀ¸·Î ÇÏ´Â ÅõÀÚ¾çÇØ°¢¼¸¦ ü°áÇß´Ù.
À̹ø ÅõÀÚ¾çÇØ°¢¼ ü°áÀº SK¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ 2,500Åæ ±Ô¸ðÀÇ NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò) Á¦Á¶°øÀå Áõ¼³°ú ÀϺ»ÀÇ ¼î¿Íµ§ÄÚÞä¿Í 210¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ÇÕÀÛ¹ýÀÎ ¼³¸³¿¡ µû¸¥ ½Ä°¢°¡½º Á¦Á¶°øÀåÀ» ¼³¸³Çϱâ À§ÇؼÀÌ´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â 2001³â Ư¼ö°¡½º ºÒ¸ðÁöÀÎ ±¹³»¿¡¼ óÀ½À¸·Î NF3(»ïºÒÈÁú¼Ò)¸¦ »ý»êÇØ Ã¹ ±¹»êÈ¿¡ ¼º°øÇßÀ¸¸ç, ÇöÀç ¿¬°£ 9,200MTÀÇ ¼¼°è ÃÖ°íÀÇ »ý»ê¼³ºñ¸¦ º¸À¯ÇÏ°í, ¼¼°è½ÃÀå Á¡À¯À² 40%·Î ¼¼°è 1À§ ±â¾÷ÀÌ´Ù.
±¹³»¿Ü ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ Á¦Á¶¾÷ü°¡ ÁÖ¿ä °í°´À¸·Î, °í°´»çÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È ¹× 3D NAND È®»ê, OLED »ê¾÷ÀÇ ÅõÀÚ È®´ë µîÀ¸·Î Áõ°¡ÇÏ´Â NF3 ¼ö¿ä¿¡ ´ëÀÀÇϱâ À§ÇØ Ãß°¡ 2,500Åæ ±Ô¸ðÀÇ °øÀå Áõ¼³À» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖ´Ù.
°æºÏµµ¿Í ¿µÁÖ½ÃÀÇ Àû±ØÀûÀÎ Áö¿ø°ú ±â¾÷ÀÇ °ú°¨ÇÑ µµÀü °æ¿µÀÌ ¾î¿ì·¯Á® 2007³âºÎÅÍ Áö±Ý±îÁö 5ȸ¿¡ °ÉÃÄ 6,300¾ï¿øÀÇ Áõ¾×ÅõÀÚ°¡ À̾îÁ³´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî¿Í ÀϺ»ÀÇ ¼î¿Íµ§ÄÚÞä°¡ ÇÕÀÛÇØ ¼³¸³ÇÏ´Â SK¼î¿Íµ§ÄÚ´Â CH3F(Ç÷ç¿À¸£¸Þź) 1Â÷ »ý»ê¼³ºñ 20ÅæÀ» ³»³â ÇϹݱâ±îÁö °Ç¼³ ¿Ï·áÇÏ°í, C4F6(À°ºÒȺΟµð¿£) µî °íºÎ°¡ CF°è °¡½º »ç¾÷µµ ¼øÂ÷ÀûÀ¸·Î ÃßÁøÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
½Ä°¢°¡½º´Â ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ ÇÊ¿ä ºÎºÐ¸¸ ³²°ÜµÎ°í ³ª¸ÓÁö ¹°ÁúÀ» Á¦°ÅÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÎ ½Ä°¢ °úÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â Ư¼ö °¡½º´Ù. ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼È °øÁ¤ ¹× 3D³½µå È®»ê¿¡ µû¶ó ½Ä°¢°¡½º ¼ö¿ä°¡ ±ÞÁõÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
¿ÃÇظ¸ 2õ500¾ï¿øÀÇ ½ÃÀå±Ô¸ð¸¦ Çü¼ºÇÒ °ÍÀ¸·Î Ãß»êµÇ¸ç, ƯÈ÷ SK¼î¿Íµ§ÄÚ°¡ »ý»êÇÒ °èȹÀΠź¼Ò․ºÒ¼Ò(CF°è) °¡½º´Â 3D ³½µåÇ÷¡½Ã ÀûÃþÈ¿¡ µû¶ó »ç¿ë·®ÀÌ ºü¸£°Ô ´Ã¾î³¯ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ÀÌ ¹Û¿¡µµ À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ(WF6), ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4), ´ÙÀ̽Ƕõ(Si2H6) µî ´Ù¾çÇÑ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ Á¦Á¶ÇØ Àü ¼¼°è·Î ¼öÃâÇϴ Ư¼ö°¡½º ºÐ¾ßÀÇ ±Û·Î¹ú ¸®´õ·Î È®°íÇÑ À§Ä¡¸¦ Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¸ÅºÐ±â »ç»ó ÃÖ´ë ½ÇÀûÀ» °»½Å, Áö³ÇØ 4õ600¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ ¸ÅÃâÀ» ´Þ¼ºÇѵ¥ ÀÌ¾î ¿ÃÇØ¿¡µµ ½ÇÀû ¼ºÀå¼¼¸¦ À̾ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
ÇÑÆí, SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â Áß±¹․´ë¸¸․ÀϺ» µîÁö¿¡ ÆǸŠ¹ýÀΰú Áß±¹ Áø°¿¡ 1,000Åæ ±Ô¸ðÀÇ NF3 »ý»ê½Ã¼³À» ¼³¸³ÇßÀ¸¸ç, ¹ÝµµÃ¼¿ë Àü±¸Ã¼¸¦ »ý»êÇÏ´Â SKÆ®¸®ÄÍ ÇÕÀÛ¹ýÀÎ ¼³¸³ ¹× »ê¾÷¿ë °¡½º¸¦ Á¦Á¶ÇÏ´Â SK¿¡¾î°¡½º Àμö µîÀ» ÅëÇØ ¼¼°èÀûÀÎ ±â¾÷À¸·Î ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ´Ù.
±è°ü¿ë °æ»óºÏµµÁö»ç´Â ¡°Áö±Ý ¿ì¸®´Â »õ·Î¿î µµÀü°ú º¯È¿¡ Á÷¸éÇØ ÀÖ´Ù¸ç, ¾î·Á¿î ½Ã±â¿¡ Àû±ØÀû ÅõÀÚ¿¡ ³ª¼± SK¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ µµÀü¿¡ °¨»ç¸¦ Ç¥ÇÏ°í ´õ ÁÁÀº ÅõÀÚȯ°æ°ú ´õ ¸¹Àº ±âȸ·Î º¸´äÇÏ°Ú´Ù¡±°í ¾à¼ÓÇß´Ù
°æºÏ¿¬ÇÕ¹æ¼Û gumisun@daum.net
# [°æºÏ¿¬ÇÕ¹æ¼Û]ÀÇ »çÁø°ú ±â»ç¸¦ ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷½Ã ÀúÀ۱ǷḦ û±¸ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.